集成度数据。
不过依旧没有办法完全满足威龙-1战斗机和玄武-1主战重坦的机载计算机要求。
举个最简单的。
处理器方面,最低的标准,都是16位。
使用8位的话,战斗力无疑会大打折扣。
当然,40w也勉强能够搞出最早期的16位处理器来使用。不过效果只怕会不尽人意。
这也是李暮提出100w作为基础标准的原因。
他想了想,道:
“我的意见是继续在光源、光学系统、掩模技术、光刻胶材料、机械和控制系统上进行创新。”
“就拿光源来说。”
“现在我们的分布式投影光刻机,主要采用还是汞灯光源,主要是g线和i线的紫外光……”
他缓缓地开始讲述。
黄新华和王绶觉两人,也迅速熟练地从口袋中掏出纸笔,开始记录。
一旁的吴有望也没有闲着,不停地为他们泡茶倒茶。
“光源上我们可以向准分子激光光源靠近,如krf248和arf193,甚至采用极紫外光源。”李暮做了个小小的总结。
当然,最后的极紫外光源,就是提出来凑个数,让黄新华等人先有个概念而已。
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毕竟在未来,突破极紫外光刻技术,将是夏国势在必行的研究计划。
……
说完了光源。
李暮接着又说起光学系统。
现在他们的光学系统,还属于相对初级阶段。
主要采用的是2:1投影光学系统。
这种技术将掩模上的图案以2:1的比例投影到晶圆上,设计相对简单,分辨率也受到不小的限制。
如果可以提升到4:1,甚至是5:1的话。
解决100w集成度的标准,不会有任何问题。
除此之外,还可以在高数值孔径透镜和浸没式光学系统方面下功夫。
只不过以目前的技术来说,想要同时推进三者的研究,难度实在太大了。
好在也没必要在光学系统上死磕。
掩模技术上可以搞相移掩模、光学邻近矫正和多重图案技术。
光刻胶材料朝着深紫外光刻胶的方向发展。
机械和控制系统就去研制精密对准和调平系统。
多管齐下的话。
足够在短时间内实现集成度的迅速突破。
……
用了两个小时左右的时间。
李暮才将所有的
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