甚至令李暮有些意外地提出了分层设计的想法。
“采用多层光刻胶结构,低分子量树脂作为顶层,高分子量或抗刻蚀树脂作为底层。通过物理分层直接隔离性能需求,你觉得可不可行?”黄新华问道。
李暮笑道:
“当然可行,不过想要实现,需要克服多个难点。”
“不同的光刻胶层之间需要具有良好的粘附性,避免层间混合或界面的缺陷的出现。”
“还有就是工艺兼容性的问题,溶剂侵蚀、热膨胀系统不匹配,都有可能影响成品……”
他说了一下自己的意见。
分层设计,也叫多层光刻胶技术。
不过这种技术,尽管在理论上具有显著优势。
在实际应用中,却面临诸多技术难点和设备要求。
除了上述的问题之外。
还有分辨率与厚度的平衡问题、缺陷控制问题等。
另外在设备上,也需要专门的机器做支持。
比如高精度的旋涂机或喷涂设备、高精度的曝光机、高精度的显影机等。
整体来说。
效果好,成本也高。
“既然你都这么说了,那我们再好好考虑考虑。”黄新华果断道。
在他心中,李暮同意的不一定没问题。
但觉得不行的,十成十行不通。
闻言,李暮想了想,道:
“技术是可以的,就是现在很难实现。可以先研究着,以后再看看有没有可能。”
……
在黄新华这边了两个小时左右的时间。
将其在光刻胶方面、掩模技术方面和光学系统方面遇到的问题。
都一一指导,给出方向之后。
李暮回到所长办公室。
不过他不知道的是,此时吴有望和胡旭华也达成了共识。
……
一推门。
李暮快步走进屋。
往沙发上一看。
一时有些惊奇。
只见才来了不久的胡旭华,正和吴有望亲切地握着手,一副相见恨晚的表情。
他笑着调侃道:
“怎么我才走了这一会儿,就像是走了一个月似的。”
“哈哈,确实是相见恨晚,胡教授都想留下来了。”吴有望道。
胡旭华佯装推辞,道:
“哎哎,不成不成,刚刚是说笑的。”
“厂里还有许多的研究要做。”
“我要是留下来,那边肯定会受到影响。”
他嘴上满是拒绝。
可眼
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