机工作的时候,用在校准上需要十分钟,而光刻上同样需要数十钟,但如果晶圆在一个工台上光刻的同时,另一个工台上的晶圆进行校准是不是可以把这个时间节省出来,晶圆在光刻完成后,另一个晶圆校准好正好可以光刻……”
“……”屈庆麟眉头微皱,仔细思索一番,便了解其中妙处,双工台,一个校准,一个光刻,效率将显著提高,要是良品率可以保证的话,最直接的效果就是产量可以显著上升,而芯片的成本可以继续下探。
赵国庆看屈庆麟一脸难色,笑道:“怎么,怕了?”
屈庆麟摇摇头说:“单工台还没有玩明白呢!赵总,现在研发双工台,是不是有点早?”
“确实,单工台技术主要是吸收asml的技术,有些技术我们只是会做,但不明白为什么asml这么设计!”赵国庆顿了顿说:“但继续深入单工台研究,不影响双工台研究,至少可以做一些前期的探索研究吧!”
屈庆麟说:“赵总,你这么看好双工台技术吗?”
小赵老师点点头,他已经很久没有人质疑他的决定了。
(本章完)